コータ・デベロッパ SK-Nシリーズ

LTPS（低温ポリシリコン）-TFT対応高精細モデル

TFTアレイ用で実績のあるSKシリーズをベースに開発したハイスペックモデル。塗布、ベーク、現像の各プロセス均一性は業界最高レベルを実現しています。LTPS（低温ポリシリコン）-TFTなど、高精細パネルの生産に寄与します。

特長

TFT量産に適した高生産性
洗浄・現像・コータ・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮。
塗布部には、スリット式塗布装置「リニアコータ™」を搭載し、優れた膜厚均一性を実現します。
塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化。業界随一の連続稼動を実現。
省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます。
資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいディスプレー作りを支えます。

【対応基板サイズ】
　　730 x 920 mm (G4) 以上

※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。